詳細介紹
電容式位置傳感,亞納米級分辨率
? 亞納米級空間分辨率,多通道高速并行數據采集,支持超高真空、無磁特殊使用環境
• 50 kSa/s 數據傳輸&采集帶寬;
• 0.2-3 mm 量程覆蓋;
• 亞納米級超高分辨率;
• ≤ ±0.01% FSO 高線性度;
多種量程 & 多種安裝形態
提供平板、圓柱和螺柱三種探頭形式,量程覆蓋 0.2 mm, 0.5 mm, 1 mm, 2 mm & 3 mm
提供高真空.HV、 超高真空.UHV & 無磁材料.NM 的多版本選擇
電容式位置傳感,亞納米級分辨率——詳細參數:
尺寸圖:
位置監視器·Faraday系列
單機最多可達8通道,自由配置
靈活帶寬選擇,高速數據采集
功能·高速數據采集
50 kSa/s 數據采集,高速記錄沖擊式振動
全程無遺漏
實測數據源自單脈沖式敲擊引發的平面振動,監視運動全程
功能·軟件功能
實時 FTT 分析
多通道位置數據顯示
采樣率可調
FFT分析
實時頻譜分析
速度 & 加速度分析
實時差分信號
數據索引
自動尋峰/谷
軟件歸零
隨時配置數字零點
超范圍預警
預警條件可設置
功能·高速實時通訊
20 µs / 數據點 實時通訊
用于超精密運動閉環控制
選用 C1-FLT 傳感器搭配 Faraday.03 監視器提供實時位置信息,每 20 μs 進行一次位置更新,為 PID 閉環控制提供關鍵支持。
閉環運動系統可在 5.3 ms 內實現啟動、加速、勻速、減速和停止五個運動過程,并完成 1 μm 的平滑階躍,且無過沖現象
多場科技致力于全環境壓電超精密運動控制技術以及產品的開發與推廣。得益于公司在“強磁場、超高真空和極低溫環境"環境領域下長期的探索與積累,多場科技已形成了全環境納米運動控制產品集群,成為國際上為數不多的,可以提供全環境下的納米級運動控制解決方案的團隊。
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